学会発表

国内会議発表論文

    1. 青野祐子,桜井淳平,秦 誠一,下河辺 明:サーモグラフィを用いた薄膜アモルファス合金の結晶化開始温度のコンビナトリアル評価法,2009年春季第56回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,670 (2009.3.30-4.2 東京)
    2. Seiichi Hata, Yuko Aono, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Need-based development of materials for micro and nano scale stractures using combinatorial technology, Processings of the 25th Sensor Symposium, IEEJ SMS Symposium on Sensors, Micromachines & Applied Systems, 771-772 (2008, October 22-24, Okinawa, Japan), (Oral/Poster)
    3. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Development of the cylindrical ultrasonic linear microactuator, Processings of the 25th Sensor Symposium, IEEJ SMS Symposium on Sensors, Micromachines & Applied Systems, 797-798 (2008, October 22-24, Okinawa, Japan), (Poster)
    4. 井手雄紀, 大津雅亮, 櫻井淳平, 秦 誠一, 高島和希:Pd基金属ガラス箔のレーザフォーミング,日本金属学会九州支部日本鉄鋼協会九州支部共催平成20年度合同学術講演大会講演概要集,53,(2008,9)
    5. 田邉力也,秦 誠一,下河辺明:整流機能付きMEMS血球計数センサの開発,第27回日本シミュレーション学会大会講演論文集,391-394,(2008.6)
    6. 大津雅亮, 井手雄紀, 櫻井淳平, 秦 誠一, 高島和希:金属ガラス箔のレーザフォーミング,平成20年度塑性加工春季講演会講演論文集,177-178(2008.5)
    7. 青野祐子,桜井淳平,秦 誠一:赤外線カメラを用いたアモルファス合金の結晶化開始温度測定,2008年春季第55回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,647 (2008.3.17-18 東京)
    8. 秦 誠一,田邊力也,桜井淳平,下河辺 明:集積化MEMS血球分析チップ,日本機械学会IIP2008情報・知能・精密機器部門講演会,238-241 (2008.3.17-18 東京)
    9. 秦 誠一,桜井淳平,青野祐子,下河辺 明:コンビナトリアル手法によるMEMS用新材料の探索,日本機械学会IIP2008情報・知能・精密機器部門講演会,206-209 (2008.3.17-18 東京)
    10. Sun Dongming, Wang Sheng, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Cylindrical ultrasonic linear microactuator with 10mm length stator,2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,114-115 (2008.3.17-19 東京)
    11. Wang Sheng, Sun Dongming, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Standing wave type of the cylindrical ultrasonic linear microactuator(CULM),2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,113-114 (2008.3.17-19 東京)
    12. 秦 誠一,青野祐子,桜井淳平,下河邉 明:線膨張係数のコンビナトリアル評価法,3大学3研究所連携プロジェクト公開討論会講演概要,125-126 (2008.3.14 東京)
    13. Dongming Sun, Sheng Wang and Seiichi Hata, “Vibration analysis of a cylindrical ultrasonic linear microactuator using COMSOL Multiphysics”, COMSOL conference, Tokyo, December 30, 2007, Japan. (Invited oral)
    14. 桜井淳平,秦 誠一,山内隆介,下河辺 明:高機能ガラスレンズ金型材料の探索I-白金族基非晶質合金の探索-,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,241-242 (2007.9.12-14 旭川)
    15. 山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河辺 明:高機能ガラスレンズ金型材料の探索II-機械的特性,切削特性の改善-,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,243-244 (2007.9.12-14 旭川)
    16. Sun Dongming, Wang Sheng, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Research on the driving mechanism for a new type of ultrasonic linear microactuator, Proc. Autumn meeting of JSPE, 747-748 (2007. 9. 12-14 Asahikawa)
    17. Wang Sheng, Sun Dongming, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Design and simulation of cylindrical ultrasonic linear microactuator, Proc. Autumn meeting of JSPE, 749-750 (2007. 9. 12-14 Asahikawa)
    18. 青野祐子,秦 誠一,桜井淳平,山内隆介,下河辺 明:MEMS材料のコンビナトリアル評価 ―線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法―,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,829-830 (2007.9.12-14 旭川)
    19. 知京豊裕,桜井淳平,秦 誠一,松本祐司,大毛利健治,柳生進二郎,吉武道子,渡部平司,山田啓作,下河邉 明:次世代メタルゲート材料としてのアモルファス合金の探査,2007年春季第54回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2.902 (2007.3.27-30 東京)
    20. 秦 誠一,藤田敏充,山内隆介,桜井淳平,下河辺 明:合金カソードを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の基礎的研究,2007年春季第54回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2.698(2007.3.27-30 東京)
    21. 田邊力也,秦 誠一,下河辺 明:MEMSプロセスを応用した,積層型血球分析チップの製作,2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,1113-1114 (2007.3.20-22 東京)
    22. 木村友治,秦 誠一,桜井淳平,下河辺 明:バイメタルカンチレバーのプロセス条件のコンビナトリアル探索法,2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,403-404 (2007.3.20-22 東京)
    23. 秦 誠一,山内隆介,桜井淳平,下河邉 明:薄膜金属ガラスと窒化シリコン接合界面の加熱時挙動,3大学3研究所連携プロジェクト公開討論会講演概要,111-112 (2007.3.9 大阪)
    24. 秦 誠一,桜井淳平,下河邉明:高機能光学素子金型用アモルファス合金のコンビナトリアル探索,第14回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集,107-108(2006.11.25-26, 千葉)
    25. 吉田和弘,堀井宣孝,秦 誠一,横田眞一,下河辺 明:薄膜金属ガラスを応用した集積形ERマイクロアクチュエータの開発,平成18年度秋季フィールドパワーシステム講演会講演論文集,49-51(2006.11.9-10 静岡市)
    26. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A MEMS homoglobin and volume measurement sensor, Proc. of 23nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems pp.131-134 (2006. 10, Takamatu, Japan), (Oral)
    27. 秦 誠一,赤松宏明,福重孝志,下河辺 明:回転型マイクロアクチュエータ ―形状,駆動方法の検討―,2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,927-928(2006)
    28. 林 健彦,福重孝志,秦 誠一,下河辺 明:ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御,2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,925-926(2006)
    29. 赤松宏明,秦 誠一,福重 孝志,下河辺 明:基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究,2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,955-956(2005)
    30. 秦 誠一,山内隆介,桜井淳平,下河邉 明:カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅰ,2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集,9a-D-2(2005)
    31. 山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河邉 明:カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅱ,2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集,9a-D-3(2005)
    32. 吉田和弘,堀井宣孝,秦 誠一,横田眞一,下河辺 明:薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案,日本機械学会関東支部山梨ブロック山梨講演会講演論文集,213-214(2005)
    33. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A MEMS complete blood count sensor with vanes, Proc. of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems pp.357-361 (2005. 10, Tokyo), (Oral)
    34. 秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:MEMS用材料としての薄膜金属ガラスとその微細加工,日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集,18-19(2005)
    35. 西ヶ谷啓太,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスのマイクロブロー成形,2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,477-478(2005)
    36. 秦 誠一,林 健彦,福重孝志,下河辺明:アナログ的基板面外変位静電マイクロアクチュエータ,2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,887-888(2004)
    37. 西ヶ谷啓太,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作―窒化銅を発ガス材として用いたマイクロブロー成形―,2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,555-556(2004)
    38. 福重孝志,秦 誠一,下河辺明:静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動方法,2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,1129-1130(2004)
    39. 上島太陽,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:集積化薄膜金属ガラスマイクロプローブ,2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,783-784(2004)
    40. 桜井淳平,秦 誠一,下河辺明:CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果, 日本金属学会講演概要,541(2003)
    41. 福重孝志,秦 誠一,下河辺明:高出力・高集積基板面外駆動マイクロアクチュエータ,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,576(2003)
    42. 秦 誠一,山中 崇,桜井淳平・下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作―プロセスの改良と変形に関する考察―,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,575(2003)
    43. 桜井淳平,秦 誠一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ(第2報)- 薄膜金属ガラスの低電気抵抗化-,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,391(2003)
    44. 和田晃一,北爪秀憲,奈良崎亘,斉藤忠男,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ(第1報)-薄膜金属ガラスマイクロプローブとその特性-,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,390(2003)
    45. 秦 誠一,下河辺明:新しいMEMS材料としての薄膜金属ガラス,電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,23-27(2002)(招待講演)
    46. 福重孝志,横山佳巧,秦 誠一,益 一哉,下河辺明:高周波回路用可変マイクロインダクタの製作と評価,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,333(2002)
    47. 山中 崇,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,326(2002)
    48. 鄭 希元,秦 誠一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた2自由度マイクロアクチュエータの製作,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,108(2002)
    49. 秦 誠一,加藤友和,下河辺明:集積化円錘ばねマイクロアクチュエータ,2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,24(2002)
    50. 下河辺明,秦 誠一,劉 永東:薄膜金属ガラスによるマイクロ構造体の製作とその応用,東京工業大学精密工学研究所第34回シンポジウム「Micro/Nano Mechano Systems」講演予稿集,33-42,2001
    51. 加藤友和,秦 誠一,下河辺明:基板面外円錐ばねマイクロアクチュエータ,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,591(2001)
    52. 鄭 希元,秦 誠一,下河辺明:レーザ局所加熱による薄膜金属ガラスのマイクロフォーミング,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,166(2001)
    53. 秦 誠一,山田 裕,市原順一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いたマイクロレンズアクチュエータ,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,221(2001)
    54. 蛸島武尚,奈良崎亘,和田晃一,北爪秀憲,本山慎一,柳 永勛,江刺正喜,秦 誠一,下河辺明:マイクロマシン技術を用いたLSIテスト用微細プローブ・ピンの開発,平成13年電気学会全国大会講演論文集,1078(2001)
    55. 和田晃一,安岡正純,渡辺一貴,蛸島武尚,秦 誠一,下河辺明:Zr系およびPd系金属ガラス薄膜の抵抗率測定,第47回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,624(2000)
    56. 佐藤海二,伊藤健太郎,秦 誠一,下河辺明:液体の表面張力を利用したマイクロ部 品のセルフアライメント – 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響 -,2000年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,400(2000)
    57. Liu Yongdong, Seiichi Hata, Kouichi Wada and Akira Shimokohbe: Physical properties of Pd-based thin film metallic glass, Proc. Autumn meeting of JSPE, 402 (2000)
    58. 秦 誠一,劉 永東,加藤友和,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第3報)-過冷却液体域を利用した立体構造製作法の検討-,2000年度精密工学会秋季講演会論文集,401(2000)
    59. 佐藤海二,伊藤健太郎,秦 誠一,下河辺明:液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント(マイクロ部品や液滴の挙動とセルフアライメント精度),日本機械学会IIP2000情報・知能・情報機器部門講演会講演論文集,137-139(2000)
    60. 秦 誠一,松崎将健,崔 起鳳,佐藤海二,下河辺明;バルク金属ガラスを用いた微小球面軸受,日本機械学会IIP2000 情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集,141-142(2000)
    61. 秦 誠一,和田晃一,佐藤海二,下河辺明;薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報)-Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工-,2000年度精密工学会春季講演会論文集,401(2000)
    62. 佐藤海二, 関 智紀, 秦 誠一, 下河辺明: 水の表面張力を利用したマイクロ部品組立のためのセルフアライメント, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,128(1999)
    63. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,119(1999)
    64. 秦 誠一, 後藤 潤, 長峯靖之, 佐藤海二, 下河辺明: 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,118(1999)
    65. 秦 誠一, 石井達史, 佐藤海二, 下河辺明: 過冷却液体域を利用した金属ガラスの微細加工法, 日本機械学会1999年度年次大会講演論文集(Ⅰ), 409-410(1999)
    66. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: 金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究-スパッタ法による微細構造製作とその物性-, 1998年度精密工学会秋季講演会論文集,163(1998)
    67. 渡辺和俊, 秦 誠一, 太刀川博之, 佐藤海二, 下河辺明: 二次元アブソリュートエンコーダの原理とその応用, 1998年度精密工学会春季講演会論文集, 212(1998)
    68. 秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久: Zr基バルクアモルファス合金の過冷却液体域に於ける圧縮応力下の変形特性,第28回塑性加工春季講演会講演論文集,477-478 (1997)
    69. 秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久: Zr基バルクアモルファス合金の過冷却液体域に於ける超塑性流動を利用した精密成形,日本機械学会第74期通常総会講演会講演論文集,No97-1(Ⅲ),321-322 (1997)
    70. 千賀 徹, 秦 誠一, 小川治男: 微小領域における振動加工装置に関する研究(第2報), 1995年度精密工学会春季講演会論文集, 533-534 (1995)
    71. 秦 誠一,佐藤海二,大塚二郎,吉村靖夫,下河辺明:加工点制御型微小変位台の開発,日本機械学会第71期通常総会講演会講演論文集[Ⅳ],710-712(1994)
    72. 早乙女康典, 秦 誠一, 伊藤明俊, 坂口幸二: 超塑性の微細成形特性とマイクロ2段歯車の創成, 平成4年塑性加工春季講演会, 127-130(1992)
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